高精度转台

高精度转台系列具有高准确性、高可靠性、高刚性和简单易用等特点。可以根据用户需求设计不同的转台直径,其中团队自主研发的气浮主轴回转精度优于50nm,自主研发的高精度机械轴系可以优于1um。由于气浮轴承完全无摩擦,因此其在操作期间无启动转矩和摩擦阻力,非常适合在无尘室中使用,无需维护或润滑,使用寿命不受限制。高精度转台广泛应用在光学、计量、零件检验、校准、国防、科研等行业。
本单位承接0.1角秒至10角秒级各类高精度转台的定制开发。

中心致力服务于需要最高运动控制精度的领域,为这些领域提供微米、纳米级定位精度的核心部件。以顾客需求为导向,倾听客户严苛的应用需求,为客户提供最高精度运动控制系统的定制化解决方案。

本中心针对不同用户需求,提供多款高精度转台:压电马达转台、气浮转台、机械转台、二维转台、速率转台等。转台内置无框力矩电机,有更好的驱动力和工作效率。所有转台均为自主研发,具有国际领先的精度水平。

项目团队研制出的ZT320型高精度转台,测量不确定度优于0.05″,成功应用于我国最高法定计量机构——中国计量科学研究院,现已成为国家线角度计量基准。

我们的应用领域包括光栅制造、角度编码器检测、半导体、测量检测、科研、国防等,各类转台均可以根据用户需求定制。

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