• 具有自主知识产权的真空预载气浮支承技术，能获得稳定的气膜间隙;
• 高承载和刚度，负载能力80kg ;
• 先进的制造装调工艺，轴跳和端跳均优于0.05um，机械性能突出;
• 多读数头误差反馈补偿技术，获得稳定的0.1”分度精度。
• 采用压电马达驱动，实现纳米级控制，驱动分辨率0.001”，能实现任意角度分度；
• 高可靠性驱动控制系统，稳定运行的保证;
• 各项参数可根据用户需求定制

参数

值

台面直径

320mm

承载能力

80kg

最大转速

3rpm

回转精度

50nm

控制分辨率

0.001角秒

有效行程

360度

定位精度

0.1角秒