• 专为动静态角度测量设计，主要用于产生高精度角度和高稳定性角速度。
• 转台采用超精密气浮轴承，提高了运动精度和超平滑率。
• 配置高精度圆光栅，通过多读数头实现自校准，实现高空间定位精度；
• 高可靠线性驱动控制系统，超高运动精度和运动速率稳定性；
• 实现深亚秒级静态角度和1ppm 稳定角速度生成。
• 各项参数可根据用户需求定制

典型参数

值

回转精度

0.05um

定位精度

0.1角秒

角位置重复定位精度

0.1角秒

倾斜回转误差

0.5角秒

速率稳定性

高速（≥50°/s，360°范围）：0.0001%；

中速（5°/s～50°/s，10°范围）：0.001%；

低速（≤5°/s，1°范围）：0.02%。

速度范围

±500°/s

安装台面尺寸

φ300mm

承载能力

≥30kg