• 高精度嵌套式双轴气浮转台，专为角度测量设计；
• 转台双轴采用超精密气浮轴承，提高了运动精度和超平滑率；
• 通过内、外轴同步运动与独立运动的组合，构成转台内部交叉自校准所需的所有运动模式，主要用于产生高精度角度与高稳定性角速度。
• 采用三组高精度光栅采集角度，每个光栅配多个读数头实现自校准，提高测角精度
• 高可靠驱动控制系统，超高运动精度和运动速率稳定性；
• 实现深亚秒级静态角度和1ppm 稳定角速度生成。
• 各项参数可根据用户需求定制

序号

指标名称

技术要求

1

负载能力

内轴：10 kg、外轴：50 kg

2

角位移误差(PV)

内轴：0.2″、外轴：0.1″

3

角位移重复定位精度

内轴：0.1″、外轴：0.05″

4

回零误差

内轴：0.05″、外轴：0.03″

5

速率范围

内轴：0-100 r/min、外轴：0-2 r/min

6

速率稳定性

优于0.1%（1°范围内）优于0.01%（10°范围内）优于0.001%（100°范围内）优于0.0001%（360°范围内）

7

安装台面尺寸

476mm×476mm

8

径向回转误差

内轴：50 nm、外轴：50 nm

10

位置稳定时间

内轴：≤2s、外轴：≤2s

11

转台台面

内轴：φ155 mm、外轴：φ320 mm

12

安装方式

法兰安装或直接放置

13

选配

环境适应性设计